KÍSÍKARBÍÐ CANTILEVER SLURRY
Notkunarsvæði: Í dreifingarofnum og háhita oxunardreifingarofnum sem notaðir eru í hálfleiðaraframleiðsluiðnaðinum til að framkvæma hitauppstreymi og oxun kísilskúffu, er framhleypið lykilþáttur oblátahleðslukerfisins til að tryggja einsleitni obláts og ofnröra fyrir meiri jöfn dreifing og oxun. Kísilkarbíð cantilever paddles einkennast af miklum styrk, miklum hreinleika, mikilli hitaleiðni, engum gropi, viðnám gegn sýru og basa tæringu, engin mengun við háan hita, góðan hitaáfallsstöðugleika og mikla hleðslugetu. Ásamt hitaþenslustuðli sem er svipaður og LPCVD húðun, getur notkun kísilkarbíðhlífarspaða í LPCVD lengt umtalsvert viðhaldshreinsunarlotur og dregið verulega úr mengun.
Lýsing
Einn helsti kosturinn við kísilkarbíð sviflausnina er geta þess til að skila stöðugum og einsleitum árangri. Grindurinn er fær um að veita sléttan áferð og framúrskarandi yfirborðsgæði, sem tryggir að véluðu hlutarnir séu lausir við rispur, sprungur eða aðra galla.
Annar kostur við kísilkarbíð sviflausn er að hún er umhverfisvæn. Grindurinn inniheldur engin hættuleg efnasambönd eða eitruð efni, sem gerir það öruggt að nota og farga henni.
Ennfremur er kísilkarbíð sviflausn slurry mjög hagkvæm þar sem það dregur verulega úr efnissóun og vinnslutíma. Grindurinn er fær um að fjarlægja efni á hraðari hraða en hefðbundin mala- og fægjatækni og eykur þannig skilvirkni framleiðsluferlisins.
