Uppgufunarbátar skara fram úr í tómarúm ofna

Uppgufunarbátur er lofttæmisofni til að ná kjarnaþáttum uppgufunarhúðarinnar, hlutverk hans er að bera uppgufun efna og gera það gufað upp með upphitun, sett í tómarúmsumhverfi til að mynda þunnt filmu. Eftirfarandi frá umsóknarvettvangi, efniseiginleikum, tæknilegum punktum og iðnaðarforritum og öðrum þáttum í nákvæmri greiningu á uppgufunarbátnum í tómarúmofninum:

Kjarnaumsóknarmynd

1. Einangrunarlag (Sio₂, sinₓ), notað í flísarframleiðslu, hringrásarborðum, MEMS tækjum. Optical Films: Transmittance Enhancement Films (MGF₂), Reflective Films (AG, AL), Filter Films (Mulilayer Dielectric Films), notaðar í sjónlinsum, farsíma myndavélum, skjái. Hagnýtur húðun: slitþolinn húðun (Tin, CRN), hita-einangrandi kvikmyndir (málmblöndur), tæringarþolnar kvikmyndir (PTFE), notaðar í bifreiðagleri, skurðarverkfærum, geimverum.

2. Efni Hreinsun og breyting á aðskilnaði með háum hreinleika: Notkun mismunandi efna með mismunandi gufuþrýstingi, í gegnum uppgufunarbátahitun til að ná hreinsun sjaldgæfra jarðarþátta (svo sem ND, DY), góðmálma (Au, Pt). Yfirborðsdópmeðferð: Uppgufun á dópefnum (svo sem B, N) á yfirborði hálfleiðara skífur eða rafhlöðu rafskauta, til að bæta raf- eða sjón eiginleika efna.

Í öðru lagi, tæknilegu stigin og hönnunarkröfur

1.. Hitastýring og einsleitni uppgufunarbátsins með viðnámshitun eða hitaveitu rafeindgeisla, þarf að stilla hitastigið í samræmi við gufuþrýstinginn (svo sem AL uppgufunarhitastig um 1200 gráðu, Au um 1400 gráðu).

Hönnun báta (svo sem dýpt grópsins, hallahornið) til að tryggja að uppgufun efnisins sé hituð jafnt, til að forðast staðbundna ofhitnun af völdum skvetta eða óhæfni sveiflna.

2. Tómarúm sem samsvarar tómarúmsumhverfi (venjulega 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) getur dregið úr suðumark efnisins, bætt uppgufunarhraða, en forðast oxun. Efni uppgufunarbáta þarf að vera stöðugt undir miklu tómarúmi, svo sem grafítbát þarf að forðast oxun á háum hita (þarf að fylla með óvirku gasi eins og AR).

3.. Efnafræðileg eindrægni til að forðast uppgufun efna og bátaviðbragða: Til dæmis ætti uppgufun á Zn, S sem innihalda efni, ekki nota mólýbdenbát (auðvelt að mynda lág bræðslumark MOS ₂ leiða til tæringar); Uppgufun nítríðs valinn bórnítríðbát, til að koma í veg fyrir málmbátinn og viðbrögð N frumefnisins til að mynda óhreinindi.

4. Lífs- og skiptihringrás eftir langtíma notkun, getur báturinn verið vegna bráðnunar í bráðnun, uppgufunarleifum eða aflögunarbrest, reglulegu viðhaldi (svo sem ultrasonic hreinsun) eða skipti til að tryggja stöðugleika gæðahúðar. Dæmigerð atvinnuumsóknir

1. Hálfleiðari og ör -rafeindaframleiðsla: uppgufun AL, Cu undirbúning samþættra rafskauta með molybdenbát eða wolframbát; Útfelling Sio₂ einangrunarlags getur verið valfrjáls grafítbátur eða bórnítríðbát (til að forðast mengun málm). Rafmagnstæki: Notkun bórnítríðbáts uppgufunar gan, aln, undirbúningur hára rafeinda hreyfanleika smára (HEMT) þekjulags, til að koma í veg fyrir kynningu á óhreinindum í málmbátnum.

2.. Ljósfræði og sýna tækni Nákvæm sjónræn hluti: Wolfram báta uppgufun Ag, Al undirbúningur spegla, grafít báta uppgufun MGF₂, Sio₂ undirbúningur umbreytingaruppbyggingarfilmu, til að tryggja einsleitni kvikmynda og lágan gallahraða.

OLED og MINI-LED: Boron Nitride Boat uppgufun á lífrænum ljósdrepandi efni (svo sem IR flókið) eða skammtapunkta, til að forðast líkamsefni bátsins og viðbrögð lífrænna sameinda, til að auka líf tækisins.

3. nýjar Sólfrumur í orkusviði: Molybden báts uppgufun Ag rafskaut slurry, grafít bátsútfelling sinₓ minnkunarfilmu; Í kalkógeníð rafhlöðu, bórnítríðbát uppgufun formamidín-blý joð (FAPBI₃), til að koma í veg fyrir mengun með vatnsgufu og óhreinindum.

4.. Litíumjónarafhlöður: Tantal Boat uppgufun Li málmblöndur af rafgeymisrafskautum með fastri ástandi, notkun litíumtæringarþolsins; Uppgufun á B, N þætti dópað breytt kísill-undirstaða rafskautaverksmiðja, til að auka afköst hjólreiðar.

5. Boron nitride bátur uppgufun á demants undanfara, undirbúning DLC ​​filmu sem notuð er í fluglögum.

Meðferð með háhita á málmblöndu: Uppgufun AL, Y og annarra þátta með mólýbdenbát í tómarúmofni til að mynda andoxunarefni húðun (svo sem súrálhúð) fyrir loft-vélarblöð.

Shengyang New Material Co., Ltd. er skuldbundinn til framleiðslu á bórnítríð og bórnítríð unnum vörum og getur sérsniðið ýmsar bórnítríð einangrunar keramikhluta í samræmi við þarfir viðskiptavina. Hafðu samband við okkur ef þörf krefur.
Sími: +8618560961205
Netfang: sales@zbsyxc.com