Bórnítríð uppgufunarbátar vs. Wolfram bátar

Nov 20, 2023

Bórnítríð uppgufunarbátar á móti wolframbátum: munur og kostir

Uppgufunarbátar eru mikið notaðir til framleiðslu á þunnum filmum og húðun í mörgum atvinnugreinum eins og rafeindatækni, ljósfræði og bílaiðnaði. Meðal ýmissa efna sem notuð eru í uppgufunarbáta eru bórnítríð (BN) og wolfram (W) tveir vinsælir kostir. Hér eru munur og kostir BN uppgufunarbáta samanborið við hefðbundna W báta.

Í fyrsta lagi hefur BN mun meiri hitaleiðni en W. Þetta þýðir að BN uppgufunarbátar geta flutt meiri hita yfir á undirlagið á meðan á útfellingunni stendur, sem leiðir til hraðari og jafnari útfellingarhraða. Þar að auki er BN efnafræðilega óvirkt efni, sem þýðir að það hvarfast ekki við efnin sem eru gufuð upp eða lofttegundirnar sem notaðar eru í lofttæmishólfinu. Þetta dregur úr líkum á mengun og bætir stöðugleika og samkvæmni þunnu filmunnar.

Að auki hafa BN uppgufunarbátar hærra bræðslumark en W. BN þolir hitastig allt að 2800 gráður, en W bráðnar við um 3422 gráður. Þetta þýðir að hægt er að nota BN-báta fyrir háhitaútfellingarferla, svo sem hvarfgræðslu og plasmabætta efnagufuútfellingu (PECVD), án þess að hætta sé á bátsbilun eða aflögun.

Annar kostur BN uppgufunarbáta er lágur gufuþrýstingur þeirra. Þetta þýðir að BN gufar ekki upp meðan á útfellingunni stendur, sem dregur úr líkum á kjarnamyndun og bætir gæði og hreinleika þunnu filmanna. Ennfremur er BN óeitrað efni, sem gerir það öruggara val til notkunar í lofttæmishólfinu.

Í stuttu máli, BN uppgufunarbátar hafa nokkra kosti fram yfir W báta, þar á meðal hærri hitaleiðni, efnaleysi, hærra bræðslumark, lágan gufuþrýsting og eiturhrif. Þessir eiginleikar gera BN báta að frábærum vali fyrir afkastamikla þunnfilmuútfellingu í ýmsum iðnaði.

 

Shengyang New Material Co., Ltd. hefur skuldbundið sig til framleiðslu á bórnítríði og bórnítríði unnum vörum og getur sérsniðið ýmsa bórnítríð einangrandi keramikhluta í samræmi við þarfir viðskiptavina. Hafðu samband ef þörf krefur.
Sími:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp% 3a% 7b% 7b0% 7d}

Þér gæti einnig líkað